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安全完整性等級 SILX – Safety Integrity Level對應安全完整性量值的范圍，四個等級—SIL1、SIL2、SIL3、SIL4，SIL4等級最高。

診斷覆蓋率DC—Diagnostic Coverage通過自動在線診斷測試檢測到的危險失效分數，由檢測到的危險失效率除以總危險實現率計算出來的（已經檢測到的失效率占總失效率的比值）。

表決通道組在要求時的平均失效概率PFD—Probability of dangerous Failure on Demand 指的是在低要求模式下，安全儀表系統在EUC或EUC相關系統發出要求時執行規定安全功能的平均不可用性。

表決通道組的平均失效頻率PFH— Average frequency of dangerous failure 指的是在高要求模式或者連續模式下，安全儀表系統在一個給定的時間周期內執行規定安全功能時的危險失效平均頻率。

安全失效分數SFF—safe failure fraction平均安全失效率加上檢測出的平均危險失效率，與平均危險失效之比。

硬件故障裕度HFT – Hardware Fault Tolerance  表示系統的容錯能力。

失效模式與影響分析FMEA—failure Mode and Effects Analysis 針對產品所有可能的故障，并根據對故障模式的分析，確定每種故障模式對產品工作的影響，找出單點故障，并按故障模式的嚴重度及其發生概率確定其危害性。

失效模式與診斷分析FMEDA—Failure Modes Effects and Diagnostic Analysis 它對功能安全產品的失效風險，是否可診斷進行定性分析，同時也為平均失效概率和安全完整性等級的計算提供了有效的數據支撐。